APPLICATION
設備內(nèi)部實拍
單點周期重復精度 |
≤0.02nm |
單點周期絕對精度 |
≤ ±0.1nm |
單點光柵面內(nèi)矢量角絕對精度 |
≤±0.01° |
單點光柵面內(nèi)矢量角重復精度 |
≤±0.005° |
單點測試時間 |
45s |
可測光柵類型 |
反/透全息光柵、閃耀光柵、全息體光柵 |
可測光柵尺寸 |
小于 8 英寸(支持定制) |
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