UFP系列
平移滑臺(tái)采用粗調(diào)+微調(diào)結(jié)構(gòu),靈敏度優(yōu)于0.5μm
旋轉(zhuǎn)滑臺(tái)靈敏度優(yōu)于29.4″
穩(wěn)定性高,具有較高性價(jià)比
特點(diǎn):
平移滑臺(tái)采用粗調(diào)+微調(diào)結(jié)構(gòu),靈敏度優(yōu)于0.5μm
旋轉(zhuǎn)滑臺(tái)靈敏度優(yōu)于29.4″
穩(wěn)定性高,具有較高性價(jià)比
型號(hào) |
uFP1A |
uFP1B |
uFP1C-L |
uFP1C-R |
uFP1Z-L |
uFP1Z-R |
uFP2E-L |
uFP2E-R |
臺(tái)面尺寸(mm) |
60×60 |
60×42 |
||||||
臺(tái)面厚度(mm) |
20 |
25 |
30 |
40 |
40 |
- |
||
移動(dòng)量 |
粗調(diào):±6.5mm;精調(diào):±0.3mm |
θx:±3°;θy:±3° |
||||||
導(dǎo)向機(jī)構(gòu) |
線性滑塊導(dǎo)軌 |
交叉滾柱導(dǎo)軌 |
圓弧導(dǎo)軌 |
|||||
驅(qū)動(dòng) |
分厘卡 |
分厘卡 |
||||||
主體材料及表面處 理 |
鋁合金,黑色陽(yáng)極氧化處理 |
鋁合金,黑色陽(yáng)極氧化處理 |
||||||
自重(Kg) |
0.28 |
0.32 |
0.4 |
0.43 |
0.4 |
|||
分辨率 |
粗調(diào):≤10µm/刻度;精調(diào)≤0.5µm/刻度 |
θx:≤29.4″/刻度;θy:≤27.7″/刻度 |
||||||
靜態(tài)平行度 |
≤60µm |
- |
||||||
運(yùn)動(dòng)平行度 |
≤10µm |
- |
||||||
運(yùn)動(dòng)直線度 |
≤4µm |
- |
- |
|||||
臺(tái)面曠量/前后 |
≤8µm |
- |
||||||
臺(tái)面曠量/左右 |
≤8µm |
- |
||||||
負(fù)載(Kg) |
5 |
6 |
5 |
2.5 |
1.5 |
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